Wafer-Inspektion

Viele Anwendungen erfordern eine präzise Steuerung der UV-Strahlung und korrekte Auswahl der Wellenlänge. Beliebte Beispiele sind Systeme zur Wafer-Inspektion, die Hersteller von Halbleitern dabei unterstützen, ihre Erträge bei der Produktion von IC-Chips zu erhöhen bzw. beizubehalten. Da sich kleinere Defekte künftig stärker auswirken, werden Inspektionssysteme dem Beispiel der Lithographie folgen und zu UV-Wellenlängen wechseln. Infolgedessen sind UV-Filter erforderlich, die einer Hochleistungs-UV-Strahlung standhalten können und verlässlich die gewünschte Beleuchtungswellenlänge auswählen.