Präzisionsgeätzte, auf den Substraten fixierte Metallmasken erzeugen strukturierte Beschichtungen im Laufe des Beschichtungsprozesses. Während die erzielbare Strukturgrösse und -form bei der direkten Maskierung beschränkt ist, kann die Strukturierung mit beinahe jedem Beschichtungsprozess und Beschichtungsmaterial angewandt werden, einschliesslich bei Prozessen, welche höhere Temperaturen benötigen.